| Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Единица измерения
характеристики |
Инструкция по заполнению
характеристик в заявке |
| 1.1. Габаритные размеры бокса (Г?Д?В) |
не менее 740?1135?858 мм |
|
|
| 1.2. Материал бокса |
нержавеющая сталь толщина 3 мм |
|
|
| 1.3. Материал передней панели бокса |
поликарбонат, устойчивый к царапинам и ударопрочный |
|
|
| 1.4. Полка в рабочей камере |
наличие |
|
|
| 1.5. Освещение рабочей камеры |
Светодиодноне |
|
|
| 1.6. Количество встроенных в переднюю панель портов для установки перчаток для манипуляций |
не менее 3 портов |
|
|
| 1.7. Диаметр каждого порта для установки перчаток для манипуляций |
не менее 220 мм |
|
|
| 1.8. Перчатки для манипуляций |
Перчатки из бутилкаучука 3шт |
|
|
| 1.9. Перчатки с фиксирующими кольцами и длиной 800 мм, обеспечивают свободный доступ к встраиваемой вакуумной камере |
Наличие |
|
|
| 1.10. Контроль утечек в боксе на уровне |
не более 0,05 % от объема камеры в час |
|
|
| 1.11. Анализатор влажности в рабочей камере перчаточного бокса |
Наличие |
|
|
| 1.11.1. Диапазон измерений анализатора влажности |
не уже 0 – 1000 ppm (миллионная доля) |
|
|
| 1.12. Анализатор кислорода в рабочей камере перчаточного бокса |
Наличие |
|
|
| 1.12.1. Диапазон показаний анализатора кислорода |
не уже 0 – 1000 ppm (миллионная доля) |
|
|
| 1.12.2. Нижний предел измерения анализатора кислорода |
менее 0,005 ppm (миллионная доля) |
|
|
| 1.13. Герметичный передаточный шлюз 1 для перемещения внутрь или наружу рабочей камеры образцов |
Наличие |
|
|
| 1.13.1. Внутренние размеры передаточного шлюза 1 (Г?Д?В) |
не менее 500?380?380 мм |
|
|
| 1.13.2. Поддержание вакуума внутри передаточного шлюза 1, максимальный вакуум |
не более 0,001 торр |
|
|
| 1.13.3. Выдвигаемый поддон передаточного шлюза 1, размеры (Г?Д) |
не менее 200?500 мм |
|
|
| 1.13.4. Материал поддона передаточного шлюза 1 |
нержавеющая сталь |
|
|
| 1.13.5. Измерение давления в передаточном шлюзе 1 – с помощью манометра с трубкой Бурдона, установленного на корпус передаточного шлюза 1 |
Соотвествие |
|
|
| 1.14. Герметичный передаточный шлюз 2 для перемещения внутрь или наружу рабочей камеры образцов небольшого размера |
Наличие |
|
|
| 1.14.1. Внутренние размеры передаточного шлюза 2 (Г?Д?В) |
не менее 290?150?150 мм |
|
|
| 1.14.2. Поддержание вакуума внутри передаточного шлюза 2, максимальный вакуум |
не более 0,001 торр |
|
|
| 1.14.3. Измерение давления в передаточном шлюзе 2 - с помощью манометра с трубкой Бурдона, установленного на корпус передаточного шлюза 2 |
Соотвествие |
|
|
| 1.15. Герметичные передаточные шлюзы 1 и 2 должны находиться на одной стороне прибора |
Соотвествие |
|
|
| 1.16. Система очистки газов для очистки газа в рабочей камере от влаги и кислорода с функцией постоянной циркуляции газа между рабочей камерой перчаточного бокса и системой очистки |
Наличие |
|
|
| 1.16.1. Очистка газов в рабочей камере до значений содержания кислорода и влаги |
не более 1 ppm (миллионная доля) |
|
|
| 1.16.2. Доступность работы с газами для циркуляции – N2 и Ar |
Наличие |
|
|
| 1.16.3. Количество уровней регулирования скорости циркуляции |
не менее 4 |
|
|
| 1.16.4. Максимальная скорость циркуляции |
не менее 50 м3/час |
|
|
| 1.16.5. Доступность работы с газовыми смесями для регенерации – N2/H2 и Ar/H2 |
Наличие |
|
|
| 1.16.6. Проведение регенерации с помощью пневматического клапана |
Соотвествие |
|
|
| 1.16.7. Автоматическая регенерация системы очистки газов |
Наличие |
|
|
| 1.17. Вакуумный насос в комплекте поставки |
Наличие |
|
|
| 1.17.1. Производительность вакуумного насоса |
не менее 180 л/мин |
|
|
| 1.17.2. Максимальный вакуум |
не более 0,005 торр |
|
|
| 1.17.3. Ловушка масляного тумана |
Наличие |
|
|
| 1.18. Подставка под перчаточный бокс из нержавеющей стали |
Наличие |
|
|
| 1.18.1. Габаритные размеры подставки под перчаточный бокс (Г?Д?В) |
не более 800?1200?950 мм |
|
|
| 1.18.2. Транспортировочные ролики на подставке для перемещения бокса |
Наличие |
|
|
| 1.19. Управление системами перчаточного бокса – внешняя панель управления с сенсорным дисплеем |
Соотвествие |
|
|
| 1.20. Регулирование давления в боксе – с помощью управления электромагнитными клапанами |
Соотвествие |
|
|
| 1.21. Электромагнитные клапаны должны управлять наполнением рабочей камеры инертным газом и откачкой газа через подключенный вакуумный насос |
Соотвествие |
|
|
| 1.22. Отображение на дисплее панели управления положения электромагнитных клапанов (открыт-закрыт) |
Наличие |
|
|
| 1.23. Регулирование верхнего и нижнего пределов давления газа в рабочей камере бокса |
Наличие |
|
|
| 1.24. Автоматический контроль давления газа в рабочей камере бокса и поддержание давления в установленных пределах |
Наличие |
|
|
| 1.25. Управление давлением в рабочей камере – с помощью ножной педали |
Наличие |
|
|
| 1.26. Диапазон регулирования давлением в рабочей камере |
не уже -12,5 – 12,5 мбар |
|
|
| 1.27. Автоматическое управление вакуумным насосом: - для снижения давления в боксе; - для вакуумной вентиляции передаточных шлюзов; - для откачки газа во время регенерации системы очистки |
Наличие |
|
|
| 1.28. Отображение на дисплее панели управления значения текущего давления в рабочей камере |
Наличие |
|
|
| 1.29. Отображение измеренных значений содержания кислорода и влаги на дисплее панели управления |
Наличие |
|
|
| 1.30. Отображение на дисплее панели управления стадии процесса регенерации системы очистки газов |
Наличие |
|
|
| 1.31. Герметично закрывающиеся порты для ввода дополнительных кабелей в рабочую камеру |
не менее 5 шт |
|
|
| 1.32. Блок розеток в рабочей камере бокса, количество розеток в блоке |
не менее 4 шт |
|
|
| 1.33. Пусконаладочные работы и обучение специалистов заказчика |
Наличие |
|
|
| 2.1. Габаритные размеры вакуумной камеры (Д?В) |
не менее 500?750 мм |
|
|
| 2.2. Количество магнетронных источников испарения |
не менее 1шт |
|
|
| 2.3. Количество высокотемпературных термических источников испарения |
не менее 1 шт |
|
|
| 2.4. Количество низкотемпературных термических источников испарения |
не менее 1шт |
|
|
| 2.5. Стойка телекоммуникационная для установки блоков управления оборудованием установки вакуумной |
Наличие |
|
|
| 2.6. Размещение сухой форвакуумной откачки в подставке бокса |
Соотвествие |
|
|
| 2.7. Проведение видеофиксации технологического процесса без вскрытия вакуумной камеры в перчаточном боксе |
Наличие |
|
|
| 2.8. Доступ к технологическим источникам и подложкодержателю без демонтажа установки из перчаточного бокса |
Наличие |
|
|
| 2.9. Доступ к другому оборудованию (весы и пр.) или материалам в перчаточном боксе при открытой вакуумной камере |
Наличие |
|
|
| 2.10. Герметичное уплотнение между стенкой перчаточного бокса и нижним фланцем вакуумной камеры |
Наличие |
|
|
| 2.11. Очистка внутренних и внешних поверхностей вакуумной камеры перед установкой в перчаточный бокс |
Наличие |
|
|
| 2.12. Монтаж установки вакуумной в перчаточном боксе |
Наличие |
|
|
| 2.13. Монтаж системы охлаждения замкнутого цикла |
Наличие |
|
|
| 2.14. Габариты системы охлаждения (Г?Д?В) |
не более 590?380?740 мм |
|
|
| 2.15. Холодильная мощность |
не менее 2400 Вт |
|
|
| 2.16. Точность поддержания температуры |
не хуже ± 0,3 ?С |
|
|
| 2.17. Расход охлаждающей жидкости |
не менее 13 л/мин |
|
|
Зарегистрироваться
Войти
Все сервисы
